Ultra-hoge zuiverheid één inch lichtere gasklep voor halfgeleiderfabrieken en analytische laboratoria met elektrolytisch gepolijste oppervlakken en deeltjesmonitoring

Precies ontworpen voor verontreinigingsgevoelige omgevingen, deze deeltjes-gecontroleerdeeen duim lichter gasklepDit product is vervaardigd van roestvrij staal van 316L-VAR met een elektropolische afwerking van < 0,5 Ra μm.met een vermogen van niet meer dan 50 Whet bereiken van de deeltjesnormen van klasse 1/ISO 2 voor procesgassen in halfgeleiders.000+ activeringenAls een essentieellaboratoriumgasklep, bevat het VCR-achtige gezichtsdichtingen voor heliumlekkerdichte integriteit tot 1x10−9 atm-cc/sec He, waarbij zuiverheid op ppb-niveau wordt gehandhaafd voor speciale gassen zoals arsine en silane.De PTFE-stamdichtingen en de zero-dead-leg-configuratie voldoen aan de SEMI-normen F72.Inclusief integrale deeltjesbewakingspoorten voor in situ ISO 14644-1 Klasse 3-nalevingscontrole tijdens de installatie.

De punten:
✓Schoonheid op nanoschaal: < 5 deeltjes > 0,1 μm per liter (per IEST RP CC001.6)
✓Bubbeldichte afdichting: 1x10−9 atm-cc/sec heliumlekkagesnelheid
✓Corrosiebeveiliging: Passiva volgens de ASTM A967-nitroenzuurmethode
✓Vibratievrije werking: Ontwerp van antiresonantie stam
✓Fab-Bewezen: SEMI-F72-conformlaboratoriumgasklep

Toepassingsscenario:
In een halfgeleiderreinigkamer installeren technici kleppen met deeltjestellers om te verifiëren dat er geen verontreiniging is tijdens het inbedrijven van de gasleiding voor de 5nm-chipfabricatie.

Vragen:

V: Welke certificering van deeltjes is er bij deze gasklep van hoge zuiverheid?
A: IEST-CC0016 Klasse 1 rapporteert met gegevens over de deeltjesverdeling van 0,1-5,0 μm.

V: Zijn uwgasventielen voor laboratoriumverenigbaar met giftige dopanten?
A: Ja, ontworpen voor gassen van SEMI S2 categorie 1 met volledige materiaalcompatibiliteit.

V: Kan ik deeltjesbewaking integreren zonder procesonderbreking?
A: Ja, in de steekproefhavens kan in situ worden gecontroleerd op de conformiteit met ISO 14644-1.

V: Wat is de uitgassingsprestatie?
A: < 1x10−9 g/cm2/sec TML/CVCM per NASA-STD-6001B.

V: Biedt u installatiecontaminatiebeheersprotocollen?
A: Er zijn gedetailleerde installatiepakketten beschikbaar die voldoen aan ISO 14644-5.