Metersleutel met ultrazuivere regeling voor reinigingssystemen voor elektronische onderdelen met antiverontreiniging

speciaal ontworpen voor reinigingssystemen voor elektronische onderdelen die gebruikmaken van halfgeleiders en printplaten,Onze meting van de klep zorgt voor ultra-zuivere reinigingsvloeistof controle terwijl het voorkomen van verontreinigingDe klep is voorzien van een ultrazuivere interne holte met Ra 0,05 μm polijst en PFA-voer om deeltjesverlies (≤ 1 deeltje/ml, ≥ 0,5 μm) te voorkomen die gevoelige halfgeleiders kunnen beschadigen.

De klep is compatibel met DI-water (18,2 MΩ*cm) en IPA en maakt gebruik van perfluoroelastomerdichtingen die voldoen aan de SEMI F021 elektronische reinigingsnormen..Het antivervuilingsontwerp is voorzien van een gesloten loop om het contact van lucht met de reinigingsvloeistof te voorkomen.het handhaven van optimale zuiverheidsniveaus.

• Ultra-zuivere holte (Ra 0,05 μm) met PFA-voer zorgt voor ≤1 deeltjes/ml verontreinigingsbeheersing
• DI-water/IPA-compatibele perfluoroelastomeerdichtingen voldoen aan de SEMI-normen F021
• Precieze stroomregeling (0,1-10 ml/min, ±0,1% fout) aangepast aan micro-elektronische componenten
• Het ontwerp met een gesloten lus houdt de zuiverheid van de reinigingsvloeistof in stand door contact met lucht te vermijden
• met een vermogen van niet meer dan 50 W